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LAwave 是基于镭射声波原理测量涂层以及表面的一种精密测量仪器
应用领域:
硬模、半导体材料、薄型聚合物膜、传感器膜、等离子喷膜
测量数据：
测量以下材料的弹性模量
硬质和超硬模、金属膜、薄型聚合物膜、低K溶胶膜
大批量材料的弹性模量
膜厚
半导体材料的损伤程度
特点：无损伤检测
超硬超薄都能检测
检测整个面，并非某个点
可测膜范Χ广：从纳米到毫米
快速可靠
样品无需特殊处理
无需校正
作用：
薄膜沉积、涂层喷涂及成品材料表面的过程控制
薄膜和涂层机械参数的精确测量
膜材料上微结构的无损评估（如键合情况、多孔性和组成）
测探垂直于表面的弹性和密度梯度